超细二氧化铪为为白色粉末，有单斜、四方和立方三种晶体结构，不溶于水、盐酸和硝酸，可溶于浓硫酸和氟氢酸，为生产金属铪和铪合金的原料，用作耐火材料、抗放射性涂料和催化剂。

中文名：二氧化铪

英文名：hafnium dioxide

CAS 号： 12055-23-1

分子式：HfO?

分子量：210.6

密度：9.68g/cm3

熔点：2850℃

摩尔质量：210.49 g/mol

蒸发压力：在2678℃时1Pa；在2875℃时10Pa

线膨胀系数：5.6×10-6/K

薄膜特性：透光范围～220～12000nm；折射率（250nm）～2.15 （500nm）～2

蒸发条件：用电子枪，氧分压～1～2×10-2Pa。蒸发温度～2600～2800℃，基片温度～250℃，蒸发速率2nm/s

保存条件：常温避免潮湿